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    玻璃晶圆



     福特科的玻璃晶圆:

    * 高容量双面抛光能力

    * 大型镀膜机,倒角可达1.8米

    * 批量生产成本效益高

     

    玻璃晶圆可应用于:

    * 3d 成像和传感

    * 晶圆级封装

    * 封装玻璃载体晶圆

    * mems

    * 微型显示器

    微流控技术

     

     

     

     

     

     

      规格参数

    产品

    窗口/晶圆
    材质 熔融石英/光学玻璃/硅彩色玻璃滤光片
    尺寸(mm) 100mm/150mm/200mm/300mm
    厚度 最小厚度 (mm) 0.2mm(100/150mm),0.3mm(200/300mm)
    厚度公差 (mm) /- 0.02mm (commercial),  /- 0.002mm(precision)
    表面质量 40-20 (commercial), 10-5 (precision)
    表面形状或透射波前
    ≤ 0.1 waves pv (per 25.4mm @ 632.8nm)

     

     

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